クリーンルームから始まる日本の半導体戦略 工場の進化を支える注目の成層空調システム

最先端半導体の国産化を目指すラピダス。クリーンと省エネルギーを両立するために採用されたのが、高砂熱学の成層空調技術だ。壁面から冷気を吹き出す方式は、半導体製造における天井面の有効活用を実現するなど、お客様の生産性向上にも貢献。自然原理を応用した空調が、日本の半導体製造を支える。