クリーンとCO₂削減を両立し、半導体工場に導入拡大 先進空調技術と自然原理を融合 時代が求めた空調システム

微細化・積層化に伴い、半導体製造では消費電力が増えている。生産性を高めながら、いかに省エネを実現していくか。注目されているのが「環境クリエイター®」を標榜する高砂熱学工業が開発した、旋回流誘引型成層空調技術だ。自然原理を利用し、従来比CO₂削減50%を実現。導入企業が急増している。