映像の直感性と独自画像処理技術による定量性に強み 「100万分の1」の微粒子可視化へ クリーンルームの清浄度を追求

微細化や集積化が進むほどに、歩留まりへの影響を極小化するために、より小さな塵の排除が求められる。電子顕微鏡で見るインフルエンザウイルスと同等の微粒子を可視化する独自技術を開発したのは、クリーンルームのパイオニア、新日本空調だ。映像と定量性で評価・改善活動に貢献する。